チップ外観検査装置 - 産業機器.com

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チップ外観検査装置とは

外観検査装置のうち、特に半導体チップの外観検査に用いられる装置を指す。
半導体チップに付着しているダストや傷などをチップ外観検査装置で観察することにより、不良チップの流出を防ぐことができる。