外観検査装置 - 産業機器.com

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外観検査装置とは

検体の外観上の欠陥や形状を調べる装置。
対象検体は多岐にわたり、樹脂トレー、FPD基板などがあるが、利用頻度が多いのはチップ（チップ外観検査装置）やウェハ（ウェハ外観検査装置）、IC外観検査装置といった、半導体関係の部品となる。