SPM - 産業機器.com

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SPMとは

試料表面を先端形状が10nm程度という微小な探針で走査し、試料の表面形状などを高倍率で観察して画像化する顕微鏡。
走査型プローブ顕微鏡とも呼ばれ、原子間力顕微鏡（AFM）や走査型トンネル顕微鏡（STM）などはこのタイプの顕微鏡の一種。