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AFMとは
SPMの一種。
大気圧下で原子レベルの分解能を有する顕微鏡で、探針を用いて反射光の強度を測定し、制御信号を試料の表面状態(凹凸の様子)として観察する。
特徴としては、試料表面の微細形状だけでなく、表面粗さなど画像解析が容易、液中でも測定可能といった点が挙げられる。
観察対象は導電性試料に加え、高分子などの絶縁物もある。
原子間力を用いるため、原子間力顕微鏡と呼ばれることもある。