外観検査装置 - 産業機器.com

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外観検査装置とは

検体の外観上の欠陥や形状を調べる装置。
対象検体は多岐にわたり、（樹脂トレー外観検査装置）、FPD基板（FPD外観検査装置、FPD基板外観検査装置）などがあるが、利用頻度が多いのはチップ（チップ外観検査装置）やウェハ（ウェハ外観検査装置）といった、半導体関係の部品となる。