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分析電子顕微鏡とは
真空中において、加速された電子を試料に放射することで発生する透過電子、二次電子、特性X線などを分析し、ナノ領域での試料の化学的な特性を観察する装置。
具体的には元素分析や結晶構造に代表される化学組成、電子線回折や収束電子線回折、電子構造などの電子状態、走査透過像や二次電子像の観察などを行う。
略称AEM。
分析電子顕微鏡
真空中において、加速された電子を試料に放射することで発生する透過電子、二次電子、特性X線などを分析し、ナノ領域での試料の化学的な特性を観察する装置。
具体的には元素分析や結晶構造に代表される化学組成、電子線回折や収束電子線回折、電子構造などの電子状態、走査透過像や二次電子像の観察などを行う。
略称AEM。
