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TOF-SIMSとは
極微量（ppmオーダー）の無機物・有機物の同定や表面に存在する成分の分布を分析する装置。
金属、半導体、無機物、有機物、高分子材料の最表面の化学構造解析、元素・化学種の分布像やスパッタリングによる深さ方向の分析に用いられる。
また、絶縁物の測定も可能。
原理としては固体試料表面に一次イオンとなるガリウムなどのイオンを照射し、放出される二次イオンを一定の電圧で加速して検出器へと飛行させるが、このときイオンの質量の差により検出器への到達時間（飛行時間）に差が出る。
この性質を利用して、試料の最表面に存在する原子や分子を同定する。
正式には飛行時間型二次イオン質量分析装置という。
