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TOF-SIMSとは
固体試料表面にガリウムなどのイオン（一次イオン）を照射し、放出される二次イオンを一定の電圧で加速すると、イオンの質量の差により検出器への到達時間（飛行時間）に差が出る。
この性質を利用して、試料の最表面に存在する原子や分子を同定する装置。
極微量（ppmオーダー）の無機物・有機物の同定や表面に存在する成分の分布分析が可能で、金属、半導体、無機物、有機物、高分子材料の最表面の化学構造解析、元素・化学種の分布像や深さ方向の分析（スパッタリングによる）に用いられる。
また、絶縁物の測定も可能。
飛行時間型二次イオン質量分析装置とも呼ばれる。
