オージェ電子／X線光電子分光分析装置

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オージェ電子／X線光電子分光分析装置とは

電子線を物質の表面に照射すると、電子と物質とが相互作用し、様々な二次電子やX線が放出される。
オージェ電子分光装置とX線光電子分光装置を組み合わせることで、その中でもオージェ電子と特定エネルギーのX線（MgKα、AlKα）を照射し、検出する装置。