産業機器、製造業に関するメールマガジン配信中！ >>登録＆詳細はこちら
TEMとは
薄膜試料に電子線を透過させ、試料中で原子により散乱・回折された電子を観察する顕微鏡。
物質の内部構造を観察でき、微細構造の解析に最適。
また、検出器（EDS）を使用すると定性分析も可能。
電子エネルギー損失分光法（EELS）とエネルギーフィルター（EF）の併用、エネルギー分散型X線分光法（EDX）と併用することにより、軽元素から重元素までの分析が可能となる。
透過型電子顕微鏡とも称する。
