オージェ電子分光分析装置

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オージェ電子分光分析装置とは

細く絞った電子線を物質の表面に照射し、放出されるオージェ電子を検出して分析を行う装置。
物質の表面を構成する元素の測定が可能。
特に軽元素の分析に適する。
略称AES。