二次イオン質量分析計

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二次イオン質量分析計とは

酸素等のイオン（一次イオン）を加速して固体試料表面に照射し、散乱して飛び出してきた粒子のうち電荷を持つ粒子（二次イオン）の質量を分析する装置。
この装置を利用することにより試料の組成を求めることができる。
略称SIMS、別称イオンマイクロプローブ。