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エレクトロマイグレーション評価試験システムとは
電流を流すと金属原子と電子が衝突して移動し、金属原子の配列が乱れる現象、つまりエレクトロマイグレーションが原因となる抵抗値やリーク電流の増加量を測定する装置。
エレクトロマイグレーションは金属配線に起こる経年劣化現象の一つとして知られており、断線の原因ともなるため、金属配線の寿命評価にも用いられる。
電流を流すと金属原子と電子が衝突して移動し、金属原子の配列が乱れる現象、つまりエレクトロマイグレーションが原因となる抵抗値やリーク電流の増加量を測定する装置。
エレクトロマイグレーションは金属配線に起こる経年劣化現象の一つとして知られており、断線の原因ともなるため、金属配線の寿命評価にも用いられる。