真空設備を使用せず、大気中で処理する環境にやさしい「紫外線洗浄改質装置」

構成機器を最小限に抑え、設置スペースの効率化とコストの削減を実現したシンプルな卓上型実験装置です。
工具ひとつで簡単に設置できます。

ユニットタイプの紫外線洗浄改質装置です。
基本構成は、照射器と点灯電源から構成されています。
コンベア、ロールtoロールなどの搬送装置への組み込みに最適です。

大気圧環境下にて使用可能なバッチタイプの紫外線照射装置です。
超音波や薬剤だけでは除去できなかった有機系汚染物質をダメージレスで分解除去します。

照射器・電源・搬送装置を一体化したスタンドアローン型コンベアタイプの紫外線照射装置です。 インラインでの連続処理が可能です。

アームクリーンロボットを搭載した紫外線照射装置です。 最大12インチのウエハを供給→搬送→紫外線処理→収納までを自動化で行います。