振動・表面形状・速度計測機器

表面粗さ・厚みなどの表面形状特性を非接触で高精度に測定。
ドリル穴の深さや、溶接継目、電気接点、はんだバンプなどの高さ測定はもちろん、必要な測定レンジ、精度、水平分解能などに応じて最適なタイプを選択できます。
また、過酷な環境（温度、圧力、放射線）でもスピーディに計測します。
生産ラインにもスムーズに統合可能です。

平面や曲面の形状データを計測する、高精度・ハイコストパフォーマンスの非接触型表面形状計測システムです。
スキャニング光干渉計の搭載により、表面粗さや形状を最高20nmの高分解能で計測できます。

製造ラインに簡単に組み込むことができ、製造部品の表面粗さや表面形状に関する仕様を迅速に検証できます。
画像化した測定物表面の凹凸（Z軸)の分解能は40nm以上、視野は4.2mm×5.6mm～直径19mmです。

顕微鏡ベースの高精度・非接触型表面形状計測のためのスタンダードモデルです。
高い空間分解能が特長で、微小構造物の機能表面が持つミクロの形状特性を評価します。
また、スキャニング光干渉計を利用し、計測物表面の凹凸、波状形状、表面粗さなどのさまざまな表面形状をサブナノメータレベルの分解能でスピーディに計測します。

光学測定による正確なフィード速度/切断長制御と、効率的な測定と容易な導入を実現したレーザ表面速度計です。
連続生産ラインの速度や長さを非接触で測定できます。
測定用途をコアなタスクに絞ることで優れた費用対効果を発揮する一方、鉄鋼、アルミ、油性のシート、ワイヤ、ケーブル、紙、ダンボール、不織布、ティッシュなど、表面条件を問わず、さまざまな材質を測定できます。

非接触で、高精度に搬送材料の速度・長さを測定するコンパクト型レーザ表面速度計です。
材料の搬送方向（±、正転/逆転）および静止状態（ゼロ速度）を検出するため、搬送材料が頻繁に動いたり停止したりするような巻き取りリールの長さ計測や、切断加工ラインなど材料の位置調整が必要とされる用途に最適です。

実績のあるレーザドップラ技術を採用しており、工程段階で表面の移動速度と長さを、高精度で非接触測定できます。
丸棒、棒材、チューブ、パイプ、ビレット、厚板などのあらゆる材料に適用でき、表面温度は最高1200℃まで測定可能です。

長さと速度を正確に測定できます。魅力的な価格なので、測定確度と同様、購入費用も重要な多くのアプリケーションに最適です。
ヘテロダイン復調方式に基づいており、前方/後方動作と静止状態を測定できる万能な速度計です。

最大振動周波数：1.2GHz、最大振動速度：100m/s以上の測定を実現しました。
RF-MEMSや超音波トランスデューサなどの挙動を、高精度・非接触で測定できます。
NEMSやSAWデバイスなどの波長の短い表面弾性波を利用したシステムも、レーザビームの焦点スポット径を微細に絞ることで高い位置分解能で測定できます。

大きさを問わず、また薄く軽量な構造物でも測定ができる万能な振動計です。
黒い物質やゴムのような低反射率の素材でも高感度に測定できます。

振動の解析およびビジュアル化のために最先端技術を提供します。
センサの取り付け、配線や信号の状態に手間をとられることなく、無負荷で被測定物の表面を高速スキャンし、インタラクティブな測定グリッドを表示して、自動測定します。

MEMSのような微小構造物の表面形状や振動のビジュアル化や解析に最適です。
顕微鏡にスキャニングレーザドップラ振動計とストロボスコープビデオ、白色光干渉計を統合したシステムとして開発されました。

異なる振動周波数（DC～24MHz）、速度（最大±10m/s）、変位（pmからmmレンジ）に対して、性能が最適化された複数のデコーダをオプションで選択でき、測定性能をお客様の用途に合わせてカスタマイズできます。

製造環境での測定や部品検査から高周波帯域に至るまで、過酷な状況下での振動測定を実現する計測ソリューションです。
研究開発、生産ラインを問わず、特殊な用途でも柔軟に構成でき、コンパクトでコストパフォーマンスの高い振動計としてお役に立ちます。

製造環境での測定や部品検査から高周波帯域に至るまで、過酷な状況下での振動測定を実現する計測ソリューションです。
研究開発、生産ラインを問わず、特殊な用途でも柔軟に構成でき、コンパクトでコストパフォーマンスの高い振動計としてお役に立ちます。

軽量化された信号処理装置と、バッテリー付きのキャリアケースを持ち運ぶことで、手の届きにくい場所や、危険性の高い測定ターゲットでも、機械的な振動を容易に測定できます。
測定ターゲットにレーザビームを照射したら、ボタンをわずか2回押すだけで測定レンジを設定できます。

頑丈な筐体に、非接触での高精度測定を可能にするレーザベースの振動計がオールインワンで内蔵されています。
生産ラインに直接組み込むことで、構造振動に基づき製品のPASS/FAIL判定を自動実行する、リアルタイム品質管理システムを構築できます。

非接触で角速度・角変位を測定できる先進の振動センサであり、回転している構造体のダイナミクスの測定に最適です。
エンジンのクランクシャフト、車軸、船舶用のドライブシャフト、発電装置のシャフトから、リソグラフィ装置、プリンタ、コピー機の回転部品まで、回転体の形状を問わず非接触で回転振動を測定します。