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装置名：ラザフォード後方散乱分析装置とは |
軽元素（ヘリウム等）イオンを高速で試料に当てて後方散乱する粒子を検出することで、相手元素やその分布などを分析する非破壊分析装置。ナノ薄膜の分析などに用いられる。略称RBS。 |
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| ナノサイエンス株式会社 【東京都豊島区】 |
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設備情報一覧 |
| 【表面分析受託サービス】表面分析サービス、二次イオン質量分析（SIMS）、グロー放電質量分析（GDMS）、低エネルギーX線分析（LEXES）、標準試料販売等。 |
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