ラザフォード後方散乱分析装置

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ラザフォード後方散乱分析装置とは

軽元素（ヘリウム等）イオンを高速で試料に当てて後方散乱する粒子を検出することで、相手元素やその分布などを分析する非破壊分析装置。
ナノ薄膜の分析などに用いられる。
略称RBS。