X線分析顕微鏡

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細く絞ったX線を試料に照射して観察し、X線透過像を測定する装置。X線透過像を測定することで試料の元素マッピング（元素分布）を知ることができる。特徴として、試料を加工することなく大気中で、しかも非破壊で測定できる点が挙げられる。

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