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X線分析顕微鏡とは

細く絞ったX線を試料に照射して観察し、X線透過像を測定する装置。
X線透過像を測定することで試料の元素マッピング(元素分布)を知ることができる。
特徴として、試料を加工することなく大気中で、しかも非破壊で測定できる点が挙げられる。

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