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装置名：FIBとは |
ガリウムイオン源からイオンビームを抽出して5〜10nmに集束させた上で、試料に照射させる装置。試料の表面状態を高分解能で観察可能。主にデバイス、金属薄膜、複合材料、有機材料の微細断面加工と観察に適している。 |
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| 旭化成株式会社 基盤技術研究所 【静岡県富士市】 |
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設備情報一覧 |
| 工程解析・競合製品解析・不良解析・反応解析など。化成品樹脂、機能化学品、医薬・医療、住宅、建材、エレクトロニクス材料、LSI、繊維等広範囲の領域をカバーしています。 |
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