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FIBとは

ガリウムイオン源からイオンビームを抽出して5~10nmに集束させた上で、試料に照射させる装置。
試料の表面状態を高分解能で観察可能。
主にデバイス、金属薄膜、複合材料、有機材料の微細断面加工と観察に適している。

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