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TDDBとは

酸化膜に電圧を継続的にかけていると、時間が経つにつれ酸化膜の破壊の割合が増加するが、これを経時的絶縁膜破壊(TDDB)といい、この特性について調べる装置。
TDDBを調べることで、酸化膜の絶縁性の信頼性を判断することができる。
酸化膜経時破壊評価システムとも呼ばれる。

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