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装置名：エレクトロマイグレーション評価試験システムとは |
電流を印加することで金属原子が電子と衝突して移動し、原子配列が乱れる現象（エレクトロマイグレーション）によって起こる抵抗値やリーク電流の増加を測定する装置。エレクトロマイグレーションは金属配線に起こる経年劣化現象の一つでもあり、断線の原因にも挙げられる。 |
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