ホットエレクトロン解析装置

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エミッション顕微鏡の一種で、半導体デバイス内部の異常現象によって発生する極めて微弱な光（フォトン）を検出し、異常箇所を特定する装置。近年は裏面からの発光解析が可能なタイプも出現している。

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