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ホットエレクトロン解析装置とは

エミッション顕微鏡の一種で、半導体デバイス内部の異常現象によって発生する極めて微弱な光(フォトン)を検出し、異常箇所を特定する装置。
近年は裏面からの発光解析が可能なタイプも出現している。

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