ホットエレクトロン解析装置

産業機器、製造業に関するメールマガジン配信中！　>>登録＆詳細はこちら

ホットエレクトロン解析装置とは

エミッション顕微鏡の一種で、半導体デバイス内部の異常現象によって発生する極めて微弱な光（フォトン）を検出し、異常箇所を特定する装置。
近年は裏面からの発光解析が可能なタイプも出現している。