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エミッション顕微鏡とは

LSIチップやメモリデバイス、ロジックデバイスなど、動作状態の半導体デバイスの微弱な発光箇所を検出する装置。
動作状態の半導体デバイスは異常があると極微弱発光が検出されるため、異常箇所(故障箇所)を特定することが可能となる。
そのため、エミッション顕微鏡は設計段階での不良解析のみならず、フィールドでの故障解析にも利用されている。
略称EMS。

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