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外観検査装置とは

検体の外観上の欠陥や形状を調べる装置。
対象検体は多岐にわたり、(樹脂トレー外観検査装置)、FPD基板(FPD外観検査装置、FPD基板外観検査装置)などがあるが、利用頻度が多いのはチップ(チップ外観検査装置)やウェハ(ウェハ外観検査装置)といった、半導体関係の部品となる。

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