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装置名：リアルタイムイオン顕微鏡とは |
FE-SEMとFIBを合体した装置。ナノレベルでの試料作製がリアルタイムで観察可能。略称CrossBeam FIB、XB-FIB。 |
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| 株式会社アイテス 【滋賀県野洲市】 |
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設備情報一覧 |
| 【得意分野】電子部品の信頼性技術、製品解析、不良解析、故障解析、部品・材料の物理的・化学的解析。 |
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