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X線分析顕微鏡とは

細く絞ったX線(直径10μm程度)を試料に照射し、試料の元素分布・組成を得る装置。
従来の蛍光X線分析装置に比べて照射するX線の直径が細いため、微小部の元素分析、元素分布、内部構造の観察を容易に行うことを可能とした装置。
試料には機械器具や電子部品などがあり、利用分野は異物分析や不良解析、有害元素分析(WEEE/RoHS、ELV規制に対応可能)、生体分析から考古学の分野まで多岐にわたる。

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