エリプソメータ

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光の偏光の性質を利用し、検体を透過した光の偏光状態の変化を調べる装置。主として試料表面に存在する酸化膜、窒化膜などの被膜の厚さ（膜厚）や屈折率などの光学定数の測定に用いられる。楕円偏光解析装置とも呼ばれる。

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