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装置名：超音波顕微鏡とは |
SAMとも呼ばれ、超音波を用いて非破壊で試料の内部構造や音響的性質を調査することができる顕微鏡で、基本的には試料の構造解析に用いる。また、超音波顕微鏡のこの特性を利用して、材料に発生する微細なクラックの観察や、弾性表面波速度を測することが可能。つまり、材料の破損防止や試料の材質・応力の調査に利用できる。 |
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