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リアルタイムイオン顕微鏡とは

フィールドエミッション型走査電子顕微鏡(FE-SEM)に集束イオンビーム装置(FIB)を搭載し、ナノレベルでの試料作成をリアルタイムで観察することを可能にした装置。
用途としては半導体素子表面における欠陥の解析、高精度なTEM用試料の作製などが挙げられる。
CrossBeam FIB、XB-FIBとも称する。

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