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装置名：TOF-SIMSとは |
固体試料表面にガリウムなどのイオン（一次イオン）を照射し、放出される二次イオンを一定の電圧で加速すると、イオンの質量の差により検出器への到達時間（飛行時間）に差が出る。この性質を利用して、試料の最表面に存在する原子や分子を同定する装置。極微量（ppmオーダー）の無機物・有機物の同定や表面に存在する成分の分布分析が可能で、金属、半導体、無機物、有機物、高分子材料の最表面の化学構造解析、元素・化学種の分布像や深さ方向の分析（スパッタリングによる）に用いられる。また、絶縁物の測定も可能。飛行時間型二次イオン質量分析装置とも呼ばれる。 |
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| 旭化成株式会社 基盤技術研究所 【静岡県富士市】 |
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設備情報一覧 |
| 工程解析・競合製品解析・不良解析・反応解析など。化成品樹脂、機能化学品、医薬・医療、住宅、建材、エレクトロニクス材料、LSI、繊維等広範囲の領域をカバーしています。 |
| ナノサイエンス株式会社 【東京都豊島区】 |
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設備情報一覧 |
| 【表面分析受託サービス】表面分析サービス、二次イオン質量分析（SIMS）、グロー放電質量分析（GDMS）、低エネルギーX線分析（LEXES）、標準試料販売等。 |
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