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HFSとは

薄膜中に存在する水素の分布を分析する装置。
定量的に水素分布を測定するため、水素の定量分析も可能。
対象となるのは半導体、金属、ポリマーなどの各種薄膜材料。
水素前方散乱分析装置とも呼ばれる。

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