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装置名：HFSとは |
薄膜中に存在する水素の分布を分析する装置。定量的に水素分布を測定するため、水素の定量分析も可能。対象となるのは半導体、金属、ポリマーなどの各種薄膜材料。水素前方散乱分析装置とも呼ばれる。 |
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| ナノサイエンス株式会社 【東京都豊島区】 |
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設備情報一覧 |
| 【表面分析受託サービス】表面分析サービス、二次イオン質量分析（SIMS）、グロー放電質量分析（GDMS）、低エネルギーX線分析（LEXES）、標準試料販売等。 |
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