オージェ電子/X線光電子分光分析装置

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装置名:オージェ電子/X線光電子分光分析装置とは


電子線を物質の表面に照射すると、電子と物質とが相互作用し、様々な二次電子やX線が放出される。オージェ電子分光装置とX線光電子分光装置を組み合わせることで、その中でもオージェ電子と特定エネルギーのX線(MgKα、AlKα)を照射し、検出する装置。


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