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XPSとは

物質表面に軟X線を照射した時、光電効果により飛び出した電子のエネルギーを測定する装置。
固体の表面から数nmの深さ領域に関する元素や化学結合状態の分析に用いる。
またアルゴンイオンによるエッチングを行なうことにより、深さ方向の変化観測も可能。
X線光電子分光分析装置、ESCAとも呼ばれる。

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