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TEMとは

薄膜試料に電子線を透過させ、試料中で原子により散乱・回折された電子を観察する顕微鏡。
物質の内部構造を観察でき、微細構造の解析に最適。
また、検出器(EDS)を使用すると定性分析も可能。
電子エネルギー損失分光法(EELS)とエネルギーフィルター(EF)の併用、エネルギー分散型X線分光法(EDX)と併用することにより、軽元素から重元素までの分析が可能となる。
透過型電子顕微鏡とも称する。

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