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EPMAとは

電子線を試料に照射し、元素固有の信号(固有X線)を検出することにより、その物質の元素を定性・定量する装置。
試料表面の元素分析やミクロン領域の元素分析、二次電子像観察を行う。
様々な別称があり、XMA、電子線マイクロアナライザ、電子プローブマイクロアナライザ、X線マイクロアナライザー、電子線プローブX線マイクロアナライザー、電子プローブ微小部分析装置などとも呼ばれる。

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