共焦点顕微鏡

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装置名:共焦点顕微鏡とは


レーザー光を用いて試料を観察する顕微鏡(レーザー顕微鏡)の一種で、試料表面の立体構造を評価したり、暗い蛍光画像を明るく撮影することが可能。共焦点レーザー顕微鏡(レーザー共焦点顕微鏡)とも呼ばれる。

■共焦点顕微鏡の利用分野
医学・生物学の他、電子部品、自動車、金属やセラミックなどの材料、半導体、FPD、化学など多岐にわたる。

■共焦点顕微鏡の用途
微小領域の顕微鏡試験、形状測定に用いる。
→元来は生物の微細形態観察に用いられてきた。現在では金属表面の他、セラミックコンデンサやプリント基板、ブレーキディスクなど、様々な材料・部品の観察に用いられている。

■共焦点顕微鏡の特徴
光学顕微鏡に比べ、以下の点に優れる。
・観察像のコントラストが良いため、鮮明に見える
・分解能が高い
・試料の断面像が得らることができ、立体画像が描ける
また、試料を超薄切片にしなくても断層(スライス)画像を得ることができ、さらにスライス画像データを解析処理することで3次元立体像を構築することも可能。

■共焦点顕微鏡の原理
レーザー光を対物レンズに通して蛍光を発生させることで、試料を極めて小さいスポットで照明、スポットをスキャンして画像を構成する。スポット前後で生じた蛍光フレア(観察点前後の蛍光)をピンホールの作用で除き、スポットでの発光のみを検出して試料を観察する。

■共焦点顕微鏡に用いられる光源
ガスレーザー、半導体レーザー、白色光源

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レーザーテック株式会社  【神奈川県横浜市】
共焦点顕微鏡メーカーとして、世界の半導体製造に不可欠なフォトマスクの欠陥検査装置や、レーザー顕微鏡など高付加価値の商品を世界に先駆けて開発提供しています。


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