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分子量64以下の軽元素の同位体比を測定する機器。分子量64以下の軽元素を具体的に挙げると、水素、炭素、窒素、酸素などがある。これらの元素の安定同位対比を測定するためには、それぞれの元素を気体状態する前処理が必要となる。軽元素ガス用質量分析計、安定同位体比質量分析器とも呼ばれる。

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