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GD-MSとは

グロー放電によって起こるスパッタリングでイオン化された元素を(二重収束型の)質量分析計を用いて測定する高感度多元素分析装置。
導電性固体試料中の超微量元素の定性・定量、デプスプロファイルなどの情報が得られる。
グロー放電質量分析装置とも称する。

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