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EDXとは

元素から発生する特性X線をエネルギー分散型の半導体検出器で分光分析する装置。
試料に与えるダメージが比較的少ない、定性分析の速度が速い、などの特徴がある。
EDXというのは「エネルギー分散型X線分析装置」の略。

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