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蛍光X線分析装置とは

分析する試料にX線を照射し、試料から放出されるX線のエネルギーを分析して、試料に含まれている元素と元素の量を測定する装置。
重元素やNa、Alによる表面汚染を分析が可能で、金属サンプルや鉱物の鑑定、主成分分析などに適しているが、軽い元素分析には向かない。

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