マニュアルプローバ

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装置名：マニュアルプローバとは

デバイス評価の目的で電圧を加えたり、電流−電圧特性（I-V特性）の測定を行う機器。デバイス特性評価の他、不良解析やインラインプロセス評価にも用いられる。


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