外観検査装置

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検体の外観上の欠陥や形状を調べる装置。対象検体は多岐にわたり、樹脂トレー、FPD基板などがあるが、利用頻度が多いのはチップ（チップ外観検査装置）やウェハ（ウェハ外観検査装置）、IC外観検査装置といった、半導体関係の部品となる。

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