測定顕微鏡

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試料を顕微鏡で拡大し、座標を読み取ったのち、コンピュ－タにより座標変換等の処理を行い寸法・形状を測定する顕微鏡。

■測定顕微鏡で測定できる試料
接触式で形状測定できない被測定物、つまり磁気ヘッド等の超精密加工部品、超微小工業用品など。

■測定顕微鏡の利用例
・工具や製品の形状、寸法調査

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