走査電子顕微鏡

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装置名：走査電子顕微鏡とは

電子銃（電子線源となる）を用いて、電子線を収束させた細い電子線を試料に照射し、その表面形態を観察する装置。試料表面の凹凸や形態の観察や表面分析（局所組成、元素分布など）が可能。

■走査電子顕微鏡の種類
・汎用走査電子顕微鏡（SEM）・・・電子銃に熱電子銃を用いる。
・電界放射型走査電子顕微鏡（FE-SEM）・・・電子銃はフィールドエミッション（FE）電子銃。このため、電界放射型走査電子顕微鏡はフィールドエミッション型走査電子顕微鏡とも称する。

■走査電子顕微鏡の測定対象－試料
金属、セラミックス、プラスチック、成形品など
※ただし、絶縁物の場合は試料面が帯電してしまい顕微鏡像が観察できなくなるので、金などを表面に蒸着して観察しなければならない。

■走査電子顕微鏡の適用分野
金属、半導体、セラミックス、医学、生物学など

■走査電子顕微鏡の特徴
・光学顕微鏡に比べて高分解能であり、焦点もはるかに大きい。
・試料の前処理が、一般的にはTEMより容易で、金属や半導体などの試料はそのまま観察可能。
・エネルギー分散X線分光装置（EDX）と組み合わせて使用することで、特性Ｘ線（二次電子や反射電子と同時に放出）を利用した元素分析も可能。＝EDX付走査電子顕微鏡、分析走査顕微鏡（EDX-SEM）

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沖エンジニアリング株式会社　　【東京都練馬区】		設備情報一覧
信頼性試験をトータルサポート。電子機器および電子・半導体部品の特性評価から部品・材料の物理化学的評価、故障解析技術を提供します。

※電界放射型走査電子顕微鏡（FE-SEM）所有

株式会社大同分析リサーチ　　【愛知県名古屋市】		設備情報一覧
分析調査のエキスパート。化学分析（無機分析・有機分析）、物理測定、材料評価、実験試料作製、環境分析など各種の技術を提供します。

※汎用走査電子顕微鏡（SEM）、EDX付走査電子顕微鏡（EDX-SEM）所有

旭化成株式会社　基盤技術研究所　　【静岡県富士市】		設備情報一覧
工程解析・競合製品解析・不良解析・反応解析など。化成品樹脂、機能化学品、医薬・医療、住宅、建材、エレクトロニクス材料、LSI、繊維等広範囲の領域をカバーしています。

※汎用電子顕微鏡（SEM）、クライオ走査電子顕微鏡、環境制御走査電子顕微鏡（E-SEM）所有

ナノサイエンス株式会社　　【東京都豊島区】		設備情報一覧
【表面分析受託サービス】表面分析サービス、二次イオン質量分析（SIMS）、グロー放電質量分析（GDMS）、低エネルギーX線分析（LEXES）、標準試料販売等。

株式会社コベルコ科研　　【神戸市中央区】		設備情報一覧
【得意分野】構造評価・材料評価・振動試験・音響試験・流動伝熱評価・塑性加工評価・電磁場評価

※電界放射型走査電子顕微鏡（FE-SEM）所有

株式会社富士電化環境センター　　【静岡県湖西市】		設備情報一覧
【得意分野】信頼性試験、VOC調査、障害品解析、RoHS/ELV、環境調査、土壌調査、シックハウス物質測定等。

九州電力　関連会社　　【福岡県福岡市】		設備情報一覧
【得意分野】エネルギー・環境・リサイクルの分野で、コンサルティング・研究受託。研究設備レンタルも実施。

日本カーリット株式会社　　【東京都千代田区】		設備情報一覧
【得意分野】危険性評価試験。爆発性・燃焼性・分解性の各種試験の受託試験を行います。これらの業務において、殆どの関連試験を受託出来る体制を用意。

株式会社ルネサスクオリティエンジニアリング【兵庫県川西市】		設備情報一覧
【得意分野】電子部品・半導体の受託試験業務。各種解析装置を揃え、電子部品・半導体の信頼性試験総合アウトソーシングソリューションを提供いたします。

株式会社クオルテック　　【大阪府堺市】		設備情報一覧
【得意分野】プリント基板・電子デバイスのトータルソリューションを提供！調査・解析・再現実験による真因を追求し、対策・改善案を提案します。