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走査電子顕微鏡とは

電子銃(電子線源となる)を用いて、電子線を収束させた細い電子線を試料に照射し、その表面形態を観察する装置。
試料表面の凹凸や形態の観察や表面分析(局所組成、元素分布など)が可能。

■走査電子顕微鏡の種類
・汎用走査電子顕微鏡(SEM)・・・電子銃に熱電子銃を用いる。
・電界放射型走査電子顕微鏡(FE-SEM)・・・電子銃はフィールドエミッション(FE)電子銃。
このため、電界放射型走査電子顕微鏡はフィールドエミッション型走査電子顕微鏡とも称する。

■走査電子顕微鏡の測定対象-試料
金属、セラミックス、プラスチック、成形品など※ただし、絶縁物の場合は試料面が帯電してしまい顕微鏡像が観察できなくなるので、金などを表面に蒸着して観察しなければならない。

■走査電子顕微鏡の適用分野
金属、半導体、セラミックス、医学、生物学など

■走査電子顕微鏡の特徴
・光学顕微鏡に比べて高分解能であり、焦点もはるかに大きい。
・試料の前処理が、一般的にはTEMより容易で、金属や半導体などの試料はそのまま観察可能。
・エネルギー分散X線分光装置(EDX)と組み合わせて使用することで、特性X線(二次電子や反射電子と同時に放出)を利用した元素分析も可能。
=EDX付走査電子顕微鏡、分析走査顕微鏡(EDX-SEM)

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