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ESDテスタとは

ウェハやチップなどの半導体部品における、静電破壊に対する耐性(ESD耐性)を測定する機器。
ESD耐性にはHBM(ヒューマンボディモデル)、MM(マシンモデル)があり、帯電した人体もしくは機械(金属)が半導体部品に触れることで起きる静電破壊を観察する。
ESDテスタの多くはMIL、EIA/JEDEC、JEITA、AEC、ESDAなどの各規格に対応している。

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